<DLP/DMD光刻照明光源-上海昊量光電設備有限公司

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      DLP/DMD光刻照明光源

      簡要描述:DLP/DMD光刻照明光源:昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備,集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2022-12-21
      • 訪  問  量:989
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      昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備,集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。

      這款DMD光刻光源為基于DLP技術的具有挑戰性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長光譜的設置非常適合。數值孔徑為0.2(光束角度±12°)和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的wan美解決方案。

      DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇(365nm、385nm、395nm、405nm)。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管(例如、LD405nm)的照明器。

      LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統中。


      DLP/DMD 光刻照明光源產品亮點:

      • 專為DLP®9000和DLP®9500設計

      • 包括高性能LED驅動器、便于控制和編程

      • 高強度性能能夠縮短/減少處理時間

      • 由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑

      • 不會過時的無汞光源



      DLP/DMD 光刻照明光源產品規格:

      輻射輸出功率
      • DLP9500蕞高30W

      • DLP7000蕞高20W

      波長配置
      • 365nm、385nm、395nm、405nm

      • Single and multi-wavelength setups available

      光出口角
      • ±12°

      • 匹配DLP微鏡傾斜角度

      照明均勻性和DMD芯片溢位
      • >90%均勻性

      • >10%溢位

      熱管理
      • 液體冷卻設置

      • 快速連接、無泄漏耦合

      • 所需入口溫度≤25℃ <25°

      使用壽命
      • >3000h

      • 模塊化、易于更換系統、蕞大限度減少停機時間

      LED-驅動器
      • 每個通道0-3A、每個LED陣列18個通道

      • 恒流、可調光、脈寬調制

      外部接口
      • USB 2.0

      • 10/100Mbps以太網

      • RS-232 (TIA-232-F)

      程序串行(USB)和遠程登錄(以太網)通信命令集
      尺寸和重量
      • 照明器:27.5cm×8cm×8.5cm

      • 驅動器:23cm×29cm×4.5cm

      重量
      • 照明器:~1.5kg

      • 驅動器:~2kg




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