<皮米精度位移測量儀-上海昊量光電設備有限公司

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      皮米精度位移測量儀

      簡要描述:昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器,達到了*50pm的重復精度。quDIS支持三個測量通道,使其可以適用于任意多軸測量應用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法,不過與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過激光波長調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現其它設備所不具有的

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2021-06-02
      • 訪  問  量:1144
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      皮米精度位移測量儀

      昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器,達到了*50pm的重復精度。quDIS支持三個測量通道,使其可以適用于任意多軸測量應用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法,不過與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過激光波長調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現其它設備所不具有的距離測量。因此,皮米精度位移測量儀不僅可以獲位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中得到。

      干涉傳感頭

      根據反射目標的不同,所有應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖的,除了標準準直儀和已建立的聚焦頭,quDIS還為惡劣環境下的應用程序設計了特殊的頭。

      用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計

      鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準直頭

      產品關鍵特性:

      • 信號穩定性:< 0.05nm

      • 距離測量

      • 0.1——20m工作距離

      • 工作帶寬25kHz

      • 目標速度1m/s

      • 3個傳感頭,多設備同步

      應用領域:

      • 干涉距離測量

      • 振動分析

      • 束線中斷補充

      • 間隙和邊緣測量

      • 環境振動分析

      • 位移臺精度評估

      皮米精度位置測量儀參數列表:

      干涉儀傳感頭
      光源DFB激光器分辨率1pm
      功率<400uW信號穩定性< 0.05nm
      波長1535nm距離穩定性<200nm
      線寬<5MHz帶寬25kHz
      傳感器通道3工作距離0.1—20m
      光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標速度<1m/s
      Mating Sleeves傳感頭真空
      同步多臺設備同步低溫

       

       

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